真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)莘e氣體輸送泵，包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵，具有在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速等特點(diǎn)，被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵包括水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，目前這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中*的主力泵種。